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第512章 吃点小亏也没关系

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曲卓入行时,正是步进式投影光刻机发展的顶峰时期。

即便后来浸润式光刻机出来了,国内在很长时间里,依旧以干式机为主。

那段时间里,国内就是个破烂王国,佳能的Ex3L和5L、尼康的NSR-1010G,ASmL的FpA2500,SVGL的micrascan I,甚至GcA在78年推出的,当时来说已经老掉牙的第一代Stepper都能见到。

接触的多了,曲卓对关联的技术、结构和工艺什么的了解的很详细。

剔除掉其他工艺和流程,只说光刻机本身,作为光源的氟化氪和氟化氩准分子激光……暂时就甭惦记,离得稍微有点远。

眼下国内虽然可以自产高压汞灯,但稳定性和寿命远不达标。

450nm以上的稳定光源,曲卓有“收录”。但只能“买”出成品,没有生产工艺和设备,对应的光刻胶也一样。

至于I线和G线,好像是80年后汉斯先搞出来的。

镜头模组……已经收录到了紫外高透玻璃,抛光、镀膜、校准,对于脑子里的“系统”来说完全没有任何难度。

关键还是老问题,拿不出专用的高精度铣床。别说铣床了,小磨头都不知道去哪“收录”。

至于进一步提升精度的磁流变抛光、离子束抛光那些……唉~约等于让驾校教练的去教潜水,全是知识盲区,太难为人了。

所以,依旧只能想招给内陆提供成品,却没办法完善产业链上的缺失。

尼康和佳能肯定能“摸”到不少玩意,问题是……想个什么招儿呢?

对于一台光刻机来说,技术难度最高的就是光学及相关部分。其它的……虽然“素材”还欠缺很多,但只搞出个唬人的大框,基本谈不上多大的难度。

只要让英国佬以为,我们在技术层面,甚至是实验室层面的完成度已经足够高了。除了欠缺几项关键技术和工艺,主要缺乏的不过是工业化和体系化生产的能力就行。

再加上领先的集成电路设计能力和通用型系统,砝码绝对够重。

综合起来看,曲卓要实现上面的意图……不难,却不能轻易的答应。

可开出什么样的条件,他还真没想好。

小来小去没意思。

要狠了,就算眼下上面没招,捏着鼻子答应了,过后保不齐就会想招找后账。

甭以为位子高的人,就一定大气。不过是更加懂得取舍和权衡罢了。

而曲卓的策略是,本职工作毫无二话,保质保量完成的同时,还会交出超出预期的答卷。

但工作范围之外的事,就得掂量掂量拿捏拿捏了。

不掂量不拿捏,就得让人逮着了往死里攥……

梅宣宁气呼呼的走了,曲卓乐呵呵的相送。

他知道梅老二回去后,肯定会把问题扔回给安全部门,让那帮人自己看着办。

这也是曲卓半步不退的原因。

毕竟今天谈的内容,跟曲卓是不相干的,跟梅宣宁也是不相干的。

如果是梅宣宁的事,态度自然就不一样了。能办的话,制造点难度就给办了。

因为,这位是真大腿,做人也比较讲究,多卖点人情没坏处。一旦后面哪天出了什么纰漏,能顶大用呢。

前提是,得让梅老二知道欠下人情份量有多重。

安全部门甩出来的这档烂事儿,就是个很好的,可以用作称量和比对的参照物……

只要有事忙,时间过得就飞快。

曲卓以记忆中GcA的Stepper为基础,参考佳能的Ex3L和尼康的NSR-1010G在稳定性和经济性方面的部分技术,搞了台步进式光刻机的设计出来。

不知道多少次的修改和微调后,最终定稿。

随后,将加工流程拉展,由柜式立体布局变成线式布局。

这样设计有很大的缺陷,增加物料成本和调试难度都是小事。

关键在于拉展后,通过自动轨道进行重复对准和曝光,以及清洗和固化的线程被拉长了。必然会增加误差和被污染的几率,结果就是降低良品率。

但是没办法,柜式立体设计缺太多“素材”了。以至于只能停留于“蓝图”状态。

改成线式布局后,可以拆分后把能买的先“买”出来。“买”不出来的回头给设计。

这也是实验室做技术论证的正常状态。

还能让英国佬直观的看到我们“已经拥有”技术实力,以及欠缺的,需要他们补足的地方。

当然了,肯定不能老实巴交的直接把“家底”全抖搂光。至于具体怎么谈,自然有人去谋划和执行。

关于“谈判”这件事,咱家的手段一直是高明的。尤其是国家队出手,只要给他们足够的“弹药”,吃亏的可能性很小。

即便吃点小亏,能搞定部分我们急需的配套产业设备和技术也行。

毕竟步进式光刻机从G线到ArF,历经了小二十年呢,中间进行过多次技术迭代。

即便在初代设备上吃点小亏也没关系,全当积累经验了,后面有大把机会可以找补回来。

时间一晃就到了十二月十号。

早晨六点多,曲卓难得起了个大早,收拾立整后围上围脖扣上棉帽子,出门奔帽儿胡同西口杵着。

一直等到七点多,杨颖才开着bJ212打南边过来……

“怎么才来?”曲卓缩进后座,冻得直哆嗦。

破车节温阀修两次了,水温上的还是特别慢。以至于从空院开到什刹海,暖风依旧约等于无。

“我妈起晚了,还非要去买油条,还煮鸡蛋。耽误了好多时间。”杨颖嘟着嘴抱怨。

姑娘今天穿的贼朴素,也贼厚实。

不穿厚点不行,作为考场的五十四中没暖气。挺大的教室里就生个小破炉子,要是分到边边角角的座位,能冻的手都伸不直。

“一根油条俩鸡蛋?”曲卓很意外,没想到眼下这年月,就有如此吉利的吃法了。

“嗯~你开呗。冻手。心里还发慌。”杨颖瘪着小肉嘴撒娇。

“现在才知道慌,早干嘛去了。”曲卓挪屁股下车,上了驾驶位,开着212直奔和平里。

“……”杨颖对着某人的后脑勺嘟嘴做鬼脸。

眼看就要到五十四中了,前面路两侧乌泱泱的全是人。零下十来度的气温下,人群呼出的白气都连成片了。

这年头不流行家长送考,不用问,全都是等着进考场的考生。

人家都是骑车、坐公车,甚至是大老远步行过来的。开着车过来考试太扎眼,杨颖昨天跟乔小雨约好了在东街辅路路口碰头。

曲卓放慢车速穿过一帮一撮一群群的考生,越过学校正门后在前面路口左转。

往前开了一点,离着还挺远呢,就看到了路边穿着暗红底黑格子棉袄,一边跺脚一边把两只手放在嘴边哈气的乔小雨。

点了脚油门开过去,踩下刹车推开车门,黑着脸招呼:“上车!”

乔小雨看到某人傻了一下,醒过神赶紧坐进副驾驶,惊讶的问:“你怎么来啦?”

“手套呢?”曲卓不由分说的把棉帽子扣媳妇脑袋上,拽过两只拔凉的手,直接塞进衣襟下面。

乔小雨看了眼后座的杨颖,冻得有些发白的小脸上浮起一片红晕。蚊子大的声音说:“我寻思……考场没地方放。”

“你可真行!准考证、笔、演算纸,都带没?”

“带了。”乔小雨抽回一只手,解开两颗扣子,从棉袄里怀掏出个防雨绸袋子。

里面有钢笔,手里拎着怕钢笔水冻了。

“完了!”后座的杨颖忽然冒出一句……

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