2014年2月的江城,春寒料峭,但东湖新技术开发区的“芯谷”产业园地块上,却是一派热火朝天的景象。数十台挖掘机、推土机同时作业,扬起的尘土在晨雾中勾勒出忙碌的轮廓。林渊站在临时搭建的指挥塔上,手里攥着“芯谷”产业园的总规划图,图上用不同颜色标注的晶圆厂区、研发中心、配套产业区和生活服务区,正从蓝图一步步走向现实。
“林总,土地平整工程已经完成60%,比计划提前了5天。”项目总工程师老张拿着进度表跑上来,安全帽上还沾着泥点,“我们采用了分层碾压技术,土壤压实度达到98%,完全满足净化车间的承重要求。不过东边的高压线迁移遇到点问题,电力部门说需要协调华中电网,可能要延误3天。”
林渊顺着老张指的方向望去,几根高压线横跨规划中的研发中心地块,像拦路虎一样阻碍着施工。他立刻掏出手机拨通了江城“渊渟项目服务专班”组长、副市长王军的电话:“王市长,研发中心地块的高压线迁移需要加快,这直接影响到主体结构的开工时间。”王军在电话里爽快回应:“我上午刚跟华中电网的老总开过会,他们已经安排了应急施工队,明天就进场迁移,保证不耽误你们的进度。”
挂掉电话,林渊的目光落在规划图的研发中心区域。按照计划,这里将建设“渊渟-华科芯片联合研究院”,主体建筑包括12层的研发大楼和4层的中试车间,总投资15亿美元。李校长带着华中科技大学的团队已经进驻临时办公区,正在进行高精度激光发生器的中试设备安装。“林总,中试车间的净化等级设计为百级,比实验室要求高三个等级,设备调试需要特殊的防尘措施。”李校长迎上来,手里拿着一份设备清单,“我们需要定制一批无尘安装工具,国内供应商没有现货,从德国采购要15天,会不会影响进度?”
林渊立刻想到了刚解锁的“产业链资源对接平台”,打开系统界面输入关键词“百级净化无尘安装工具”,平台瞬间匹配出三家供应商,其中苏州的一家企业正好有一批为某外资企业定制的备用工具,规格完全符合要求。“李校长,苏州有家企业有现货,我让陈曦联系协调,明天就能运到江城。”他补充道,“另外,研究院的首批5亿美元研发资金已经到账,重点保障激光发生器和温控传感器的中试,有任何资金需求随时跟我说。”
产业链整合的速度远超预期。在陈曦的统筹下,海市新阳的光刻胶生产基地已经完成土地摘牌,正在进行地基施工;中环股份的大硅片车间主体结构已初具雏形,预计比晶圆厂提前3个月投产;中微公司的刻蚀机组装厂直接租用了产业园的临时厂房,首批3台适配高精度激光发生器的刻蚀机正在组装,下个月就能交付测试。“目前已有32家配套企业签订入驻协议,涵盖了从材料、设备到封装测试的全产业链,其中15家是国家级高新技术企业。”陈曦拿着招商台账向林渊汇报,“江城政府兑现承诺,给每家企业都发放了首期搬迁补贴,还协调银行提供了低息贷款,企业的积极性非常高。”
人才储备工作也在紧锣密鼓地推进。“芯片产业学院”的筹备会议在华中科技大学召开,武汉大学、武汉理工大学等5所高校的校长共同签署了联合办学协议。根据协议,学院将开设晶圆制造、芯片设计、设备研发三个专业,2014年9月正式招生,首批计划招收500名本科生和200名研究生。“我们从全球招聘了12名顶尖教授,其中包括3名来自台积电和三星的资深工程师,担任产业导师。”李校长介绍道,“江城政府还投入2亿元建设了芯片实训中心,配备了10台二手刻蚀机和光刻机,让学生在校就能接触实际生产设备。”
就在各项筹备工作顺利推进时,张磊带来了一个棘手的问题:“林总,二期项目的资金调度出现了缺口。原本计划的200亿美元投资中,有50亿美元是通过发行海外债券筹集的,但受米国国债收益率上升影响,海外投资者的认购热情不足,目前只筹集到35亿美元,还差15亿美元。”张磊的额头渗着冷汗,“如果不能在3月底前补齐资金,设备采购的预付款就无法支付,可能会导致设备交付延迟。”
林渊陷入了沉思。15亿美元的资金缺口不算小数,国内银行虽然愿意放贷,但会增加企业的债务压力;定向增发又会稀释股权。这时,王军副市长的电话打了过来,带来了一个好消息:“林总,工信部已经正式批复,将‘芯谷’产业园列为国家级半导体产业基地,同时为你们争取到了10亿美元的国家专项贷款,年利率仅1.2%,期限20年。另外,湖北省政府也协调省内的国有资本,成立了100亿元的芯片产业基金,愿意以股权投资的方式投入5亿美元,占股仅1%,不参与日常经营。”
这个消息解了燃眉之急。10亿美元专项贷款加5亿美元股权投资,正好填补了资金缺口。林渊立刻安排张磊对接相关部门,办理资金划拨手续。“这笔资金要优先保障设备采购,尤其是ASmL的dUV光刻机和国产刻蚀机的预付款,必须按时支付。”林渊叮嘱道,“同时,跟海外债券承销商沟通,将剩余15亿美元的债券发行规模缩减至10亿美元,降低发行成本。”
资金问题解决后,林渊把重点放在了设备交付的风险防控上。海因茨博士带来了ASmL的最新回复:“对方坚持说全球订单激增导致产能不足,交付时间要推迟3个月,但我通过内部渠道了解到,实际是米国商务部给ASmL施压,要求对我们的订单进行‘技术审查’,这才是延迟的真正原因。”海因茨博士的语气带着担忧,“如果审查升级,不排除对方会终止合同。”
林渊早已做好了两手准备。他带着海因茨博士和赵宇来到中微公司的临时组装厂,看着工程师们正在调试的刻蚀机,对众人说:“我们不能把宝都押在ASmL身上。赵宇,你牵头成立‘国产光刻机攻坚小组’,联合中科院光电技术研究所和华中科技大学,重点攻关dUV光刻机的核心技术,优先解决光源和物镜系统的国产化;海因茨博士,你负责优化现有国产设备的工艺参数,就算没有ASmL的光刻机,也要用国产设备实现28纳米芯片的量产,良率目标不低于90%。”
攻坚小组的成立立刻取得了突破。中科院光电技术研究所带来了他们研发的深紫外光源样机,虽然功率比ASmL的光源低15%,但通过优化光刻胶配方,已经能满足28纳米工艺的需求。“我们可以采用多重曝光技术弥补光源功率的不足,虽然会增加一道工序,但能将芯片的线宽精度控制在0.14微米以内。”研究所的陈研究员介绍道,“只要再投入2亿美元进行优化,3个月内就能完成样机的中试。”
林渊当场拍板,追加2亿美元研发资金,支持国产光刻机的中试。同时,他让陈曦联系江城政府,协调将“芯谷”产业园内的一栋标准厂房改造为光刻机研发中心,配备百级净化车间和精密测试设备,确保研发工作顺利推进。“国产光刻机不仅要满足我们自己的需求,未来还要推向市场,打破ASmL的垄断。”林渊对团队成员说,“这是‘核芯计划’的核心目标之一,再难也要攻克。”
3月初,“芯谷”产业园的各项筹备工作基本就绪。晶圆厂的主体结构图纸通过了审核,施工队已经进场搭建脚手架;配套的供水、供电、供气管道铺设完成80%;10家核心配套企业的厂房建设同步推进,其中海市新阳的光刻胶车间已经开始安装生产设备;“渊渟-华科芯片联合研究院”的研发大楼完成了地基浇筑,开始搭建钢结构。
动工仪式的筹备工作也进入了尾声。江城政府成立了仪式筹备专班,负责邀请嘉宾、现场布置和媒体接待。王军副市长向林渊汇报:“工信部领导、湖北省和江城的主要领导都会出席仪式,华维、比雅迪、蔚来等合作伙伴的负责人也确认参会,还有30多家国内外媒体报名采访,仪式将通过龙国国家电视台(cNtV)新闻客户端全程直播。”
林渊特别要求在仪式现场设置“产业链展示区”,展示国产刻蚀机、光刻胶、大硅片等配套产品,让嘉宾和媒体直观了解“芯谷”的产业链生态。“我们要通过这次仪式,向外界传递一个信号:龙国的芯片产业不是孤军奋战,而是形成了完整的产业链集群。”林渊对王军说,“同时,邀请100名‘芯片产业学院’的首批新生代表参加仪式,让他们感受龙国半导体产业的崛起氛围,增强使命感。”
3月18日,动工仪式的前一天,林渊再次来到产业园检查准备情况。夕阳下,“芯谷”产业园的巨大横幅格外醒目,“自主创新,硬核崛起”八个大字熠熠生辉。施工机械整齐排列,产业链展示区的展品已经摆放就绪,国产刻蚀机的样机被放在最显眼的位置,旁边的屏幕上循环播放着技术团队的研发历程。
李校长带着几位“芯片产业学院”的新生代表来到现场,一名叫陈宇的男生激动地对林渊说:“林总,我是学晶圆制造专业的,看到我们自己的刻蚀机和光刻机研发取得突破,我更加坚定了投身芯片产业的决心。毕业后,我一定要来‘芯谷’工作,为龙国的芯片事业出一份力!”
林渊拍了拍陈宇的肩膀,心中充满了感慨。从宝驰汽车的重生到深蓝科技的芯片研发,从自建晶圆厂的天价投入到“芯谷”产业园的落地,这一路走来,他经历了无数的质疑和挑战,但也看到了越来越多的人加入到硬核科技崛起的行列中。他打开系统界面,查看最新进度:“‘珠峰计划’第一阶段进度98%(‘芯谷’产业园筹备就绪,国产设备研发取得突破,资金全部到位),主线任务‘挑战硬科技之巅’进度40%,支线任务‘芯谷’生态建设进度30%。奖励:‘技术攻坚加速卡’已解锁,可缩短核心技术研发周期30%。”
系统还弹出了ASmL的最新动态:“ASmL已完成对贵司订单的技术审查,米国商务部未明确反对交付,但要求限制部分高级功能的使用。预计交付时间延迟1个月,设备将于4月下旬抵达江城。”林渊松了一口气,虽然延迟了1个月,但至少避免了合同终止的风险。他立刻通知海因茨博士:“加快国产设备的调试进度,4月下旬与ASmL的设备同步进行测试,形成双轨并行的生产能力。”
动工仪式前的晚上,林渊在酒店召开了核心团队会议。他看着在座的海因茨博士、赵宇、陈曦、张磊等人,语气郑重:“明天的动工仪式,只是‘芯谷’建设的起点。未来三年,我们要完成三件事:第一,实现28纳米芯片的规模化量产,良率达到95%以上;第二,攻克dUV光刻机的核心技术,实现设备国产化率80%;第三,带动‘芯谷’产业园入驻企业超过100家,形成千亿级的半导体产业集群。”
“请林总放心,我们已经做好了准备!”团队成员异口同声地回答。海因茨博士补充道:“技术团队已经制定了详细的量产计划,2015年第一季度实现月产5万片晶圆,2016年达到满产20万片。国产光刻机的研发也有了明确的时间表,2015年底完成样机测试,2016年实现量产。”
3月19日,阳光明媚,“芯谷”产业园的动工仪式现场彩旗飘扬。主席台上方,“江城‘芯谷’产业园动工仪式”的巨幅横幅格外醒目,台下整齐排列着施工团队、技术团队、配套企业代表和新生代表的方阵,30多台施工机械一字排开,蓄势待发。
上午9点,动工仪式正式开始。工信部领导首先致辞:“江城‘芯谷’产业园的落地,是龙国半导体产业自主化进程中的重要里程碑。国家将从政策、资金、技术等方面给予全方位支持,希望渊渟资本能带领产业链企业,早日实现芯片产业的自主可控。”
湖北省省长在致辞中表示:“湖北将举全省之力支持‘芯谷’建设,打造中部地区的半导体产业高地。我们将进一步优化营商环境,为企业提供全生命周期的服务,让‘芯谷’成为全球半导体产业创新的重要一极。”
轮到林渊发言时,他走到话筒前,目光扫过台下的人群,语气坚定而激昂:“今天,我们在这里种下一颗‘芯’的种子,未来,它将成长为支撑龙国科技崛起的参天大树。‘芯谷’不仅是一座产业园,更是龙国半导体产业自主创新的摇篮。我们承诺,三年之内,实现28纳米芯片国产化率突破50%;五年之内,攻克14纳米核心技术;十年之内,让龙国芯片屹立于世界之巅!”
林渊的话音刚落,台下响起了雷鸣般的掌声。在众人的注视下,工信部领导、湖北省和江城领导与林渊一起,挥起铁锹为“芯谷”产业园培下第一锹土。礼炮齐鸣,施工机械同时启动,轰鸣声回荡在东湖之畔,宣告着江城“芯谷”的正式开工建设。
仪式结束后,任远峰特意走到林渊身边,拍着他的肩膀说:“林总,你们的决心让我佩服。华维已经准备好了,不仅要采购你们的芯片,还要与你们联合研发下一代通信芯片,一起打破国外的技术封锁。”比雅迪董事长王远驰也表示:“比雅迪的新能源汽车生产线已经预留了你们芯片的适配接口,量产后我们每年的采购量不会低于20亿颗。”
送走嘉宾后,林渊独自留在仪式现场,看着施工机械正在进行主体结构的开挖作业,心中充满了使命感。他打开系统界面,主线任务“挑战硬科技之巅”的进度已经更新为45%,系统提示:“‘芯谷’建设正式启动,解锁新支线任务:‘量产攻坚’,目标:2015年第一季度实现28纳米芯片量产,良率达到90%,奖励:‘良率优化智能系统’。”
就在这时,海因茨博士匆匆走来,脸色凝重地说:“林总,ASmL的亚太区总裁刚刚给我发了邮件,说由于‘不可预见的政策原因’,我们订购的dUV光刻机交付时间再次延迟,而且没有给出具体的交付日期。”林渊的眼神瞬间变得锐利起来,他知道,真正的考验来了。国际设备巨头的刁难,将成为“芯谷”建设路上的第一道拦路虎,而他必须带领团队,在这场没有硝烟的战争中取得胜利。
林渊深吸一口气,对海因茨博士说:“通知全体技术骨干,今晚召开紧急会议,启动国产设备量产预案。ASmL的延迟交付,反而会让我们加快自主化的步伐。从今天起,‘芯谷’的核心任务,就是实现芯片和设备的双重自主化,让任何人都无法卡我们的脖子!”夕阳下,林渊的身影被拉得很长,他的眼神中充满了坚定,一场围绕芯片自主化的攻坚战,正式打响。
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